另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發生渦流作用,此時要實現無塵室高潔凈度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流也是非常困難的,必須注重以下幾點:
1.吹出面的風速不可有速度上的差異;
2.地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般無塵室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無塵室風速的因素:
影響無塵室的氣流因素很多,如制程設備、人員、無塵室組裝材料、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與無塵室隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,產品合格率也勢必降低。無塵室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、無塵室設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。