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無塵室凈化車間的潔凈度等級標準表
2017-12-06 10:01:37   來源:   評論:0 點擊:

無塵室潔凈度等級標準表表 潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級空氣潔凈度等級大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(Pc m3)0 1μm0 2
無塵室潔凈度等級標準表

表 潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級

空氣潔凈
度等級

大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(Pc/m3 )

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

 

 

 

 

2

100

24

10

4

 

 

3

1000

237

102

35

8

 

4

10000

2370

1020

352

83

 

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

 

 

 

352000

83200

2930

8

 

 

 

3520000

832000

29300

9

 

 

 

35200000

8320000

293000

 

注:①每個采樣點應至少采樣3次. 
②本標準不適用于表征懸浮粒子的物理性,化學性,放射性及生命性. 
③根據工藝要求確定1~2種粒徑. 
④各種要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式(3.0.1)確定,要求的粒徑在0.1~5μ m范圍,包括0.1μm及5μm.

潔凈度等級標準

 

式中 Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3).Cn是以四舍五入至相近的整數,有效位數不超過三位數. 
N——潔凈度等級,數字不超出9,潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量. 
D——要求的粒徑(μm). 
0.1——常數,其量綱為μm. 
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(空態,靜態,動態)應與業主協商確定. 
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法按附錄C要求進行.

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