每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方英寸1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài):各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動態(tài):處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
單向流(層流)潔凈室原理
在潔凈室內(nèi),從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。這里的流線單向平行,是指時均流線彼此平行,方向單一。
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個名詞是不貼切的,國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl- 2083則用"非紊流的置換流"這一術(shù)語,并在注中指出,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時采用的習(xí)慣用語,"層流系統(tǒng)"的確切意思并不是分層流動,而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了"平行流"這個術(shù)語,在該術(shù)語后面同時也指出習(xí)慣上稱"層流"。