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如何對無塵凈化室微粒子濃度進行控制?
2017-12-05 22:48:07   來源:   評論:0 點擊:

無塵室的浮游微粒子濃度,若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平,然而實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的
無塵室的浮游微粒子濃度,若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平,然而實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,故造成了元件清潔面的粒子污染。 

 

無塵室內(nèi)如何控制微粒子濃度呢?

1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子 

(1)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等, 再通過風淋室吹淋,高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子,吹淋完畢才能進入無塵室。

 

(2)機器、材料進無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)貨淋室吹淋或風淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵室。 

 

(3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 

 

2、不發(fā)生 :無塵室內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制;

在控制最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應(yīng)采取以下對策: 

(1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài); 

(2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì); 

(3)采用發(fā)塵小的潤滑油; 

 

3、不儲備: 

現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動(動態(tài)),無塵室要想達到動態(tài)潔凈級別,因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。 

 

控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進 行除電。 

 

4、排除/除去 

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:  

 

由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

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