潔凈車間主要由初,中,高三級空氣過濾的空調送風回風;動力及照明系統;工作環境參數的監測報警消防和通訊系統;人流和物流系統;工藝管路系統;維護結構及靜電地面處理等各方面所要求的實施內容組成,形成空調凈化系統工程所包含的整個設備和器材的配套和建筑安裝內容。
若能徹底實施“不攜入”技術,無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。
通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
潔凈車間內的浮游微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有精確的控制才行。
特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內,而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。 控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。
潔凈車間內的浮游微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。