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環(huán)保潔凈工程項(xiàng)目技術(shù)介紹
2018-05-08 10:45:38   來(lái)源:   評(píng)論:0 點(diǎn)擊:

重慶潔凈工程 重慶潔凈車(chē)間 重慶潔凈室-精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對(duì)環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。
潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。
氣流的流動(dòng)狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室:

(1) 非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn):終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口,也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上;均設(shè)在潔凈室的下部,目的是避免出現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。
(2) 單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
(3) 矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形高效過(guò)濾器,也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)(100級(jí))潔凈度。
潔凈室的流型基本上是上述三種類(lèi)型,但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開(kāi)),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實(shí)現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級(jí)以上潔凈度,工作臺(tái)就設(shè)在“隧道內(nèi)”。

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