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半導體芯片潔凈車間0.1微米塵埃離子計算方式
2018-05-14 11:42:04   來源:   評論:0 點擊:

重慶潔凈車間 重慶凈化車間 重慶無塵車間-在命名上基本可分為兩類:一是以單位體積空氣中大于等于規(guī)定粒徑的粒子個數直接命名或以符號命名。
這種命名方法以美國FS-209A~E版為代表,其規(guī)定粒徑為0.5μm,以空氣中≥0.5μm粒徑的粒子濃度采用英制pc/ft3直接命名,如標準中的100級,表示空氣中≥0.5μm粒徑的粒子濃度為100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空氣中≥0.5μm粒徑的粒子數量為100個。二是以單位體積空氣中≥規(guī)定粒徑的粒子個數以10n表示,按指數n命名空氣潔凈度的等級,這種命名方法以日本JISB9920為代表,其規(guī)定粒徑為0.1μm,以空氣中≥0.1μm粒徑的粒子濃度(采用國際單位制)10pc/m3命名為n級。
潔凈室的空氣潔凈度,應進行下列測試:
空態(tài)測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態(tài)測試:潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。
動態(tài)測試:潔凈室已處于正常生產狀態(tài)下進行測試。潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。

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