無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高效率的設(shè)計(jì)和高效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。
小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯,風(fēng)速低了,氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些,粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物,因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明,對(duì)于高效過濾器,風(fēng)速減少一半,粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9),風(fēng)速增加一倍,透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。
與擴(kuò)散的效果類似,當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng),被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速,帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。