作為無塵室廠房的裝修工程設計的先導步驟,工藝設計需要在滿足電子產品生產要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產設備布局,合理確定各種公用動力設施的技術參數,做到能量消耗少、運行費用低、生產效率高和建設投資少;同時,還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置,滿足電子產品無塵室廠房的裝修工程生產要求和產品生產工藝要求;此外,還應該盡可能提升生產設備的自動化水平和物料運輸的自動化水平,在經濟、實用、安全可靠的條件下提高生產效率。
據調查表明,集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式,其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠,生產設備橫跨潔凈生產區和設備維護區,潔凈生產區對潔凈度要求嚴格,而設備維護區的空氣潔凈度等級相對較低。
換氣次數:100000級≥18次;10000級≥30次;1000≥50次。
據調查表明,集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式,其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠,生產設備橫跨潔凈生產區和設備維護區,潔凈生產區對潔凈度要求嚴格,而設備維護區的空氣潔凈度等級相對較低。
觸摸屏車間潔凈要求:
LCD無塵車間凈化其凈化潔凈度一般為萬級,局部千級要求,部分要求恒溫恒濕。
1、無塵車間安裝室內空氣參數要求:
1-1溫濕度要求:溫度一般為23+2℃,相對濕度為55+5%。
1-2新風量大。由于這類凈化無塵車間內人員比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流凈化無塵室車間總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
1-3送風量大。為了滿足無塵凈化車間內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是千級凈化無塵車間,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);
1-4壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
1-5平均風速:100級:0.3-0.5m/s;
1-6噪聲≤65dB(A);
1-7照度≥300LX
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX.