半導體晶圓潔凈車間制造屬于資本密集型產業,其設備投資龐大,運作成本高昂,使得投資者極為重視投資效益,不愿任何一臺設備閑置而浪費產能,于是不斷追求所有設備的完全利用,其績效指標的追求除了交期、WIP及周期時外,還要求機臺的使用率。這些顯然已經不是技術層面上可以解決的問題,而是生產制造過程管理的問題。
生產制造過程的管理按其內容可分為生產系統的性能評價、生產計劃和車間層控制[2]。這幾個問題是相互關聯的,性能評價是評估現有系統(配置固定)的性能,而不是優化系統性能的某些指標,它常評價不同設備配置及瓶頸設備附加能力對生產線的影響,是生產計劃、車間層控制的重要輸入,也是優化系統配置的主要指導。生產計劃一般指高層長期生產能力的安排和分配。車間層控制是生產計劃的細化和實現,它將基于能力(工時)的較長期計劃轉化為實際工件的實時加工序列。一般來 說,車間層控制有兩類決策任務:一類是決定何時投入多少工件進入生產線,稱為投料策略,它涉及生產速率、生產能力現狀、實際定單情況、WIP 情況等問題,常和實時調度處理統籌考慮。另一類是安排生產線中各類工件在各類設備上的實際加工序列和開始時間,稱為實時調度策略,它涉及實時設備狀況、實時WIP情況以及產品的工序流程 。