當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);
新風補充量是總送風量的10%-30%;
照度300LX
溫度測試是確認空氣處理設施的溫度控制能力,溫度測試應在凈化車間進行調試,氣流均勻性測試完成,并在凈化空調系統連續運行24H以上后進行。凈化車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設方要求在“靜態”或“動態”進行測試時應用;一般溫度測試主要使用于“空態”時溫度測試。
無塵車間溫度、濕度的測試方法:
無塵車間溫度的測試:應將潔凈工作區劃分為等面積的柵格,每個分格面積不超過100平方米或與建設方協商確定,每格測點1個以上,每個房間測點至少2個。測試高度應為工作面高度,距的吊頂、墻面和地面不小于300MM,并應考慮熱源等的影響,測量時間應至少1H,并至少6min測量一次,讀數穩定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點,每個溫度控制區或每個房間1個測點,測試點高度宜為工作面高度,測量時間應至少1H,并至少6min測量一次,讀數穩定后做好記錄。
無塵車間濕度的測試:濕度測試可采用通風干濕球濕度計、電容式濕度計、數字式濕度計、毛發式濕度儀器。相對濕度測試的測點、測試頻度和時間與溫度測試時間相同,宜一同測試。