無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高效率的設(shè)計(jì)和高效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種"小處節(jié)約大處浪費(fèi)"的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。
潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備,它能去除人和物表面的塵埃,同時(shí)又對(duì)風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于食品、醫(yī)藥、生物工程及精密電子等領(lǐng)域。風(fēng)淋室分為"普通型和聯(lián)鎖型"兩類:普通型采用手動(dòng)啟動(dòng)吹淋的控制方式,個(gè)別操作者會(huì)選擇"不經(jīng)過(guò)吹淋就離開"的逃避方式。這使得潔凈區(qū)的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會(huì)影響到產(chǎn)品質(zhì)量。
有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣,如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí),則不能循環(huán)使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機(jī)溶媒精制的原料藥精制、干燥工序;放射性藥品生產(chǎn)區(qū);病原體操作區(qū);工藝過(guò)程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序;固體口服制劑的顆料。
FFU為英文縮寫,全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為"風(fēng)機(jī)濾器單元(機(jī)組)",也稱空氣過(guò)濾單元。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過(guò)濾器過(guò)濾,它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級(jí)的潔凈室、提供高質(zhì)量的潔凈空氣。各凈化工程企業(yè)的FFU略有不同,業(yè)內(nèi)通行的指標(biāo)為:過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出,但穩(wěn)定性差距很大。經(jīng)過(guò)實(shí)地檢測(cè),國(guó)際品牌普遍難以適應(yīng)"中國(guó)環(huán)境因素",質(zhì)量雖然普遍高于國(guó)產(chǎn)公司,但1年后的穩(wěn)定性測(cè)試普遍不理想;而大部分國(guó)內(nèi)低端品牌的工程質(zhì)量也較差強(qiáng)人意。凈化工程行業(yè)開始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩(wěn)定性的雙向驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),并逐步以實(shí)地檢測(cè)數(shù)據(jù)(之前多依靠行業(yè)報(bào)告)更真實(shí)的體現(xiàn)工程性價(jià)比.